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詳細介紹
產(chǎn)品功能:
1、適用于半導體集成電路生產(chǎn)過程(后道封裝)中片式元器件貼裝,也可實現(xiàn)功率芯片與封裝器件自動裝配功能、可自動貼裝、共晶、點膠、蘸膠、粘片、晶圓粘片、倒裝、GaAs,粘片壓力可編程控制,精度高。 2、采用精密磁懸浮運動平臺,主系統(tǒng)X、Y軸采用帶有高解析度直線編碼器的無接觸無摩擦 磁懸浮系統(tǒng)。編碼器刻度達0.02μm精度,可實現(xiàn)高速、精密、亞微米級的定位。 3、平臺的設計采用高穩(wěn)定的花崗巖一體化高速運動平臺,使KV800在保證熱穩(wěn)定和機械穩(wěn)定 的同時,實現(xiàn)高速啟動時間和+/-0.5μm乃至更好的貼片精度,從而滿足高精密的應用要求。 4、具備獨立的點膠控制軟件進行膠水形狀和路徑的任意設置,可以實現(xiàn)點、線、平面、非 平面、弧形、圓形等任意形狀的點膠。同時配置獨立的點膠控制器。點膠控制器有獨立的算法, 膠水多的時候,氣體壓力會根據(jù)算法自動加大。膠水少的時候,氣體壓力會根據(jù)算法自動降低壓力。實現(xiàn)膠水點膠的一致性。 5、圖像識別系統(tǒng)包括兩組獨立的識別系統(tǒng)。頂部系統(tǒng)配置兩組獨立的工業(yè)相機,實現(xiàn)電路 板MARK點、焊盤的識別,底部系統(tǒng)配置超精密的工業(yè)相機,配置10種以上的圖像識別算法,可 以實現(xiàn)相關原材料包括特征點、管腳、芯片MARK點、異形件、小型基板等精密識別。 6、貼片機具備自動校準功能,在使用時可以根據(jù)要求設置多少次運動之后自動進行X Y軸運 動精度的校準,也可以在發(fā)現(xiàn)設備定位不準確時,通過三維自動校準進行運動軸的校準。同時通 過底部圖像識別系統(tǒng),進行點膠機點膠針頭和吸嘴的自動校準。 7、旋轉角度:設備配置高精密DD馬達,具備360度旋轉功能,旋轉分辨度為0.001度,可以實現(xiàn)組裝過程中任意角度的芯片貼裝。 8、設備配置精密點膠機,通過軟件可以選擇用點膠1或2
產(chǎn)品優(yōu)點:
1.可自由配置的工作區(qū)域 龍門構架式設計提供了大工作空間。系統(tǒng)可以從華夫盤,晶圓喂料器和帶式喂料器等喂料方式的任意組合取料。晶圓取料時,系統(tǒng)采用馬達驅動的、壓力受控的升降機構拾取薄芯片和大縱 橫比的芯片,并可進行精密補償。
2.適用于裝配的壓力控制 KV800配有閉環(huán)壓力反饋功能,使之可以非常好地處理砷化鎵(GaAs)和磷化銦(InP)器 件以及諸如MEMS這樣的易碎器件。芯片貼放力可低至10克,因此像空氣橋這樣的易碎微觀結構 不會被破壞。每次貼放的壓力均通過編程控制。
3.物料輸送 KV800既符合專門的大批量生產(chǎn)的要求,又具有足夠的靈活性適應小批量生產(chǎn)。其既可配置為單機生產(chǎn),采用料盒。
4.先進的圖像定位和視覺系統(tǒng) 先進的視覺系統(tǒng)可在360°范圍內(nèi)進行的芯片的快速探測和定位,并具有強大的基片基點校準能力。
5.可編程的多色背景光照明 每臺相機的環(huán)形光和同軸光的光強度編程可調,從而確定合適的光源以進行芯片對位和識別。多色背景光可用于處理范圍寬廣的各種材料。紅-綠-藍可編程光源(選配)為加工挑戰(zhàn)性的 校準表面(如氧化鋁陶瓷上的金線)
技術規(guī)格參數(shù)

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